三氟化氮（NF3）是有毒、無(wú)色、無(wú)嗅、不可燃的氧化性壓縮氣體。NF3具有在室溫條件下相對(duì)容易使用和可以用作氟化劑的優(yōu)點(diǎn)。由于這些因素，它在許多應(yīng)用中獲得了廣泛的認(rèn)可。由于它的優(yōu)點(diǎn)，如高蝕刻率、高選擇性、無(wú)碳蝕刻和最小限度的殘留污染，電子工業(yè)把它用在等離子和熱清潔應(yīng)用中。由于它相對(duì)于氟氣更容易使用，NF3在高能化學(xué)激光器中用作氟源。在特殊化學(xué)品的生產(chǎn)中NF3還用作媒介。