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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化抽取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來(lái)提供還原氣，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

氫氣技術(shù)指標(biāo)

試驗(yàn)方法

1 抽樣、判定和復(fù)驗(yàn)

1. 1 瓶裝、集裝格裝氫產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收。當(dāng)驗(yàn)收結(jié)果有任何一項(xiàng)不符合本標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求時(shí)，則判為不合格。

1.2 對(duì)穩(wěn)定生產(chǎn)的管道輸送的氣由供需雙方確定抽樣頻數(shù)。企業(yè)應(yīng)確保管道輸送的氫產(chǎn)品符合本標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求。

1.3 氫采樣安全應(yīng)符合GB/T 3723的規(guī)定。

氫氣在出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

產(chǎn)品名稱(chēng)，生產(chǎn)廠名稱(chēng)，危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號(hào)

生產(chǎn)日期或批號(hào)，成品壓力，產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

本標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)及產(chǎn)品等級(jí)，檢驗(yàn)員號(hào)

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