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特種氣是什么，譜源氣體專業(yè)供特種氣

2015-11-3 15:15:57

特種氣也稱為稀有氣體。主要包括電子氣體和標準氣體兩大類，它是集成電路制造和大型石油化工裝置正常運行必不可少的重要材料。

電子氣體：如集成電路制造，IC生產(chǎn)線，硅片的加工等微電子原件的加工，需要品種繁多的高純，超高純（組成的最低濃度為10^-6）特種氣體，故人們常吧這種用于微電子技術(shù)的特種氣體成做電子氣體。

標準氣體：標準氣體屬于標準物質(zhì)。標準物質(zhì)時高度均勻的，有良好的穩(wěn)定性和量值準確的測量標準。它們具有復(fù)現(xiàn)、保存和傳遞量值的基本作用，有物理，化學(xué)，生物與工程領(lǐng)域中用于校測量儀器的過程，評價測量的準確度和檢測實驗室的檢測能力；確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進行量質(zhì)仲裁。

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